从一面接触到四面环绕:一文看懂CPU晶体管的进化
快科技12月5日消息,晶体管这个词大家应该都不陌生,是一种微型电子开关,可以说是计算机芯片运作的基石。
典型的晶体管主要由三部分组成:
- 栅极(gate):相当于开关的把手,通过施加电压实现对电流的控制。
- 沟道(channel):指的是电流的通道。
- 源极(source)和漏极(drain):分别是电流的入口和出口。
而晶体管架构,指的是设计晶体管的方式,主要是栅极、沟道、源极、漏极的几何布局。
再引入另一个名词,MOSFET,全名金属氧化物半导体场效应晶体管,是目前数字电路中主流的晶体管架构。
在MOSFET晶体管中,栅极和沟道之间被氧化层(oxide layer)完全隔离开来。
一方面,氧化层阻止了电流直接从栅极流向沟道,强化了对电流的控制,避免漏电。
另一方面,当施加电压时,由于电容效应,栅极上的电荷会在氧化层下方产生一个电场,“间接”驱动晶体管中的电流流动。

在以前,制造氧化层的主要材料是二氧化硅。
2007年,Intel率先在45nm工艺的商业化产品中使用了高K材料,也就是HKMG——高K金属栅极,显著提升了栅极电容,并改善了漏电,实现了晶体管性能的提升。
这里的“K”指的是介电常数,即衡量一种绝缘材料在电场中储存电能能力的比例系数。
MOSFET之外还有其它多种晶体管架构,例如BJT(双极性结型晶体管)、HEMT(高电子迁移率晶体管)、MESFET(金属半导体场效应晶体管)等。
MOSFET是数字电路的主流,而其他架构的产品主要应用于射频电路、功率电子、高速模拟等特定领域。
传统的MOSFET架构都是平面型,所有组件都在一个水平面上,栅极只能覆盖沟道顶部。
这就出现了短沟道效应(SCE),指的是晶体管沟道长度非常短时,在栅极电场之外,源/漏极电场对沟道的影响增强,造成阈值电压下降、反偏效应增强等现象,进而导致漏电和性能不稳定等后果。
随着晶体管尺寸越来越小,平面MOSFET中的短沟道效应已经无法克服。

2010年代初期,Intel 22nm工艺上率先实现了FinFET晶体管架构的商业化。
FinFET晶体管中,沟道水平排列,栅极三面环绕,看起来很像鱼鳍,因此叫作“鳍式场效应晶体管”。
FinFET通过强化栅极对沟道的“包围”,芯片制程从20+nm微缩到3nm的过程中,有效克服了性能和功耗等方面的挑战。
如今,随着工艺制程迈向2nm级别,FinFET在控制短沟道效应和提升性能方面也捉襟见肘。

为此,产业界纷纷转向了控制能力更强的全环绕栅极(GAA)架构,比如Intel 18A工艺首次使用的RibbonFET。
RibbonFET将沟道垂直堆叠,栅极“四面”环绕沟道,将其完全包围,从而让它对电流的控制力更强、更稳定、更均匀,不易受到源极和漏极电压波动的干扰。
另一方面,当沟道宽度变大时,晶体管的导电能力会增强,能够驱动更强的电流。
在FinFET中,如果要加宽沟道,就必须让晶体管变得更高,而对RibbonFET来说,因为沟道是水平的,在一定限度内,加宽沟道并不需要增加晶体管的体积。
换言之,RibbonFET架构的晶体管,能够用更小的体积实现相同的性能。
在芯片层面,这意味着芯片标准单元的高度更低,面积更小,能够在同样的空间内集成更多的晶体管,从而实现设备整体性能的提升。
Intel 18A工艺还有PowerVia背部供电技术,已经投入量产,首款产品Panther Lake即将发布!

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